靈巧型勻膠機 型號：EZ6
　　EasyCoater 6勻膠機被設(shè)計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級直流馬達(dá)和單片機控制，5寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學(xué)或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
　　EZ6勻膠機設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進(jìn)出，具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設(shè)計，進(jìn)行嵌入式安裝，與手套箱進(jìn)行配合。

產(chǎn)品性能參數(shù)：


支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）

速度可調(diào)范圍：200-10000rpm
加速度可調(diào)范圍：100-10000rpm/s
轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm 
轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm
可編程10組10步程序 
寬電壓輸入：AC100-230V
產(chǎn)品特性優(yōu)點：
100W 直流無刷電機，PLC 控制
5”全彩觸摸屏 
系統(tǒng)中英文可選

帶一只自動點膠端口，可升級自動點膠功能
HDPE 內(nèi)腔，SUS 外殼，耐溶劑PC 透明蓋 
真空互鎖及蓋子開關(guān)互鎖安全功能
產(chǎn)品外型尺寸：358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)